在激烈的竞争之下，多晶硅因其成本低的优势，市场份额逐渐提高。不过部分企业也在单晶硅领域持续研发，让单晶硅的成本有了进一步下降。

　　多晶硅方面，目前比较主流的生产工艺主要有两种，分别为改良西门子法和硅烷法。

　　其中，西门子法是西门子公司在1955年利用氢气还原三氯硅烷在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，并于1957年开始了工业规模的生产。

　　而改良西门子法的生产流程是利用氯气和氢气合成HCl（或外购HCl），HCl和冶金硅粉在一定温度下合成SiHCl3，分离精馏提纯后的SiHCl3进入氢还原炉被氢气还原，通过化学气相沉积反应生产高纯多晶硅。

　　硅烷法是以氟硅酸、钠、铝、氢气为主要原辅材料，通过SiCl4氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取SiH4，然后将SiH4气提纯后通过SiH4热分解生产纯度较高的棒状多晶硅。

　　两者是目前大部分多晶硅生产公司采用的办法，生产流程和工艺上都比较成熟，但依然存在电耗高，流程较为复杂的缺点，导致成本下降缓慢。这让很多业内人士认为，如果单晶硅成本持续快速下降，市场份额将反超多晶硅。